compușii de fluor sunt utilizați în acoperiri pentru regiunile UV până la IR mediu. Acestea oferă cei mai mici indici de refracție și, prin urmare, sunt componente esențiale ale acoperirilor antireflexive. Filmele cu fluor prezintă benzi de absorbție în regiunile IR 2.8-3.2 si 6.0-7.4 la adâncimi diferite, în funcție de compus și metoda de depunere și parametrii. Temperaturile ridicate ale substratului, fasciculul E și IAD sunt metode care reduc adâncimile absorbțiilor.
fluorura de aluminiu, AlF3, este un material bine cunoscut care a fost folosit anterior ca material de acoperire unde a fost necesar un indice scăzut.* Nu este afectat de apă și are o rezistență mecanică bună.
aplicații ale AlF3
AlF3 este utilizat ca material de acoperire pentru oglinzi în laserele excimer. Tehnologia laser Excimer are aplicații în angioplastie în medicină și litografie în prelucrarea semiconductorilor.
proprietățile fizice ale materialului Solid AlF3
parametrii de evaporare ai AlF3
AlF3 a fost testat evaporat cu un fascicul de electroni din Creuzete de grafit. Materialul a fost precondiționat timp de 5-15 minute pentru a deshidrata suprafețele particulelor și pentru a crea o suprafață topită și densă. AlF3 s-a evaporat lin la 10-6 Torr la putere redusă a fasciculului E. Nu s-a produs nicio scuipare, iar presiunea vidului a continuat să scadă, indicând faptul că nu au fost emise substanțe volatile sau vapori de apă. O rată de depunere de 10-20%/sec. și o temperatură a substratului egală sau mai mare de 250 CTC sunt sugerate pentru cea mai mare densitate, rezistență la apă și duritate.
proprietățile filmului AlF3
acoperirile AlF3 au un indice foarte scăzut în comparație cu alte fluoruri. O pierdere de ~2% în transmisie la lungimi de undă apropiate de 400 nm este atribuită unei deficiențe parțiale a conținutului de fluor cauzată de descompunerea în evaporarea fasciculului E. Această epuizare este agravată de procesele cu energie ridicată, cum ar fi depunerea asistată de ioni (IAD). Efectul este minim cu rezistență evaporare încălzită. Deoarece stratul de film evaporat de testare a avut o grosime de ~1500 nm, această deficiență ar fi nedetectabilă în UV, unde aplicațiile necesită straturi de o zecime din această grosime. AlF3 are o promisiune pentru utilizarea IR, deși absorbția sa în regiunea de 10 centimetri ar putea fi puțin mai mare decât este de dorit pentru aplicațiile cu energie ridicată. Durabilitatea și aderența filmelor AlF3 s-au dovedit a fi excelente. În UV, AlF3 găsește aplicații în acoperiri cu laser de înaltă energie la lungimi de undă sub 250 nm.
FORMS AND SIZES AVAILABLE
| Item # | Purity | Description |
| 122737 | 99.5% | 3 – 6 mm pieces highly dense, pressure sintered |
LEARN WHAT MATERION CAN OFFER
View more about Materion fluorides. Oferim mai multe dimensiuni de particule pentru evaporare, precum și ținte de pulverizare. Pentru a vizualiza acest articol, vă rugăm să vizitați catalogul online Materion. Dacă aveți nevoie de un articol fabricat la comandă, vă rugăm să ne contactați.
telefon: 414-289-9800 / FAX: 414-289-9805 / [email protected]
——————————————————————————————————————————————————————————————————–
referință la fluorură de aluminiu pentru acoperire optică, din filme evaporate în vid de fluorură de aluminiu, W. Heitmann, Filme Solide Subțiri, 5 (1970) 61-67. Toate materialele tipărite, grafice și picturale puse la dispoziție pe acest site web sunt deținute de Materion și protejate de legile federale privind drepturile de autor. Niciunul dintre materiale, integral sau parțial, nu poate fi retipărit și distribuit sau pus la dispoziția altora în orice scop fără acordul prealabil scris al Materion.