fluorideverbindingen worden gebruikt in coatings voor de UV-tot midden-IR-gebieden. Ze bieden de laagste brekingsindices en zijn daarom essentiële componenten van anti-reflecterende coatings. Fluoridefilms vertonen absorptiebanden in de IR-gebieden 2,8-3,2 µm en 6,0-7,4 µm tot variërende dieptes, afhankelijk van de verbinding en de depositie-methode en-parameters. Hoge substraattemperaturen, E-beam en IAD zijn methoden die de dieptes van de absorpties verminderen.
aluminiumfluoride, AlF3, is een bekend materiaal dat eerder werd gebruikt als bekledingsmateriaal waarvoor een lage index nodig was.* Het wordt niet beïnvloed door water en heeft een goede mechanische sterkte.
toepassingen van AlF3
AlF3 wordt gebruikt als bekledingsmateriaal voor spiegels in excimerlasers. Excimer laser technologie heeft toepassingen in angioplastiek in de geneeskunde en lithografie in halfgeleiderverwerking.
fysische eigenschappen van vast materiaal AlF3
VERDAMPINGSPARAMETERS van AlF3
AlF3 werd getest verdampt met een elektronenbundel uit grafietkroezen. Het materiaal werd voorgeconditioneerd voor 5-15 minuten om de deeltjes oppervlakken uit te drogen en een gesmolten, dicht oppervlak te creëren. AlF3 verdampte soepel bij 10-6 Torr bij lage e-beam vermogen. Er werd niet gespuugd en de vacuümdruk bleef dalen, wat erop wijst dat er geen vluchtige stoffen of waterdamp werden uitgestoten. Een depositie van 10-20 Å / sec. en een substraattemperatuur van gelijk of groter dan 250°C worden voorgesteld voor de hoogste dichtheid, waterbestendigheid en hardheid.
filmeigenschappen van AlF3
AlF3 coatings hebben een zeer lage index vergeleken met andere fluoriden. Een verlies van ~2% in transmissie bij golflengten in de buurt van 400 nm wordt toegeschreven aan een gedeeltelijk tekort aan fluorgehalte veroorzaakt door afbraak in de e-bundel verdamping. Deze uitputting wordt verergerd door processen met hoge energie, zoals ion assisted deposition (IAD). Het effect is minimaal met weerstand verhitte verdamping. Aangezien de test verdampte filmlaag ~1500 nm dik was, zou dit tekort in UV ondetecteerbaar zijn, waar toepassingen lagen een tiende van deze dikte vereisen. AlF3 is veelbelovend voor IR-gebruik, hoewel de absorptie in het gebied van 10 µm iets hoger kan zijn dan wenselijk is voor toepassingen met hoge energie. De duurzaamheid en hechting van AlF3 films bleek uitstekend. In de UV vindt AlF3 toepassingen in hoog-energetische lasercoatings bij golflengten onder 250 nm.
FORMS AND SIZES AVAILABLE
| Item # | Purity | Description |
| 122737 | 99.5% | 3 – 6 mm pieces highly dense, pressure sintered |
LEARN WHAT MATERION CAN OFFER
View more about Materion fluorides. Wij bieden meerdere deeltjesgroottes voor verdamping en sputterdoelen. Om dit item te bekijken, bezoek de Materion online catalogus. Als u een op maat gemaakt item nodig heeft, neem dan contact met ons op.
Telefoon: 414-289-9800 / FAX: 414-289-9805 / [email protected]
——————————————————————————————————————————————————————————————————–
REFERENTIE naar het Aluminium Fluoride voor Optische Coating, van Vacuüm Verdampt Films van Aluminium Fluoride, W. Heitmann, Thin Solid Films, 5 (1970) 61-67. Alle gedrukte, grafische en picturale materialen die op deze website beschikbaar worden gesteld, zijn eigendom van Materion en worden beschermd door federale auteursrechtwetten. Geen van de materialen, geheel of gedeeltelijk, mag worden herdrukt en gedistribueerd of anderszins beschikbaar worden gesteld aan anderen voor welk doel dan ook zonder voorafgaande schriftelijke toestemming van Materion.