Fluorforbindelser brukes i belegg FOR UV til mellom-IR-regioner. De gir de laveste brytningsindeksene og er derfor viktige komponenter i antirefleksbelegg. Fluorfilmer viser absorpsjonsbånd i IR-regionene 2.8-3.2 µ og 6.0-7.4 µ i varierende dybder, avhengig av sammensetning og avsetningsmetode og parametere. Høye substrattemperaturer, E-beam og IAD er metoder som reduserer absorpsjonsdybden.
Aluminiumfluorid, AlF3, er et velkjent materiale som tidligere har vært brukt som et belegningsmateriale der en lav indeks var nødvendig.* Det påvirkes ikke av vann og har god mekanisk styrke.
APPLIKASJONER Av AlF3
AlF3 brukes som beleggmateriale for speil i excimerlasere. Excimer laserteknologi har anvendelser i angioplastikk i medisin og litografi i halvlederbehandling.
FYSISKE EGENSKAPER AV FAST MATERIALE AlF3
FORDAMPNINGSPARAMETERE Av AlF3
AlF3 ble test fordampet med en elektronstråle fra grafitt digler. Materialet ble forhåndsbestemt i 5-15 minutter for å dehydrere partikkelflatene og for å skape en smeltet, tett overflate. AlF3 fordampes jevnt ved 10-6 Torr ved lav e-stråleffekt. Ingen spytter oppstod, og vakuumtrykket fortsatte å synke, noe som indikerer at ingen flyktige stoffer eller vanndamp ble utgitt. En deponeringshastighet på 10-20 Å / sek. og en substrattemperatur på lik eller større enn 250°C foreslås for høyeste tetthet, vannmotstand og hardhet.
FILMEGENSKAPER Av AlF3
AlF3 belegg har en svært lav indeks sammenlignet med andre fluorider. Et tap på ~2% i overføring ved bølgelengder nær 400 nm skyldes en delvis mangel på fluorinnhold forårsaket av dekomponering I e-strålens fordampning. Denne uttømmingen forverres av høye energiprosesser, som ionassistert deponering (iad). Effekten er minimal med motstand oppvarmet fordampning. Siden testdampet filmlaget var ~1500 nm tykt, ville denne mangelen være uoppdagelig I UV, der applikasjoner krever lag en tiendedel av denne tykkelsen. AlF3 har løfte OM IR-bruk, selv om absorpsjonen i 10 µ-regionen kan være litt høyere enn ønskelig for høyenergiapplikasjoner. Holdbarheten Og adhesjonen Til AlF3-filmene viste seg å være utmerket. I UV, AlF3 er å finne programmer i høy energi laser belegg på bølgelengder under 250 nm.
FORMS AND SIZES AVAILABLE
| Item # | Purity | Description |
| 122737 | 99.5% | 3 – 6 mm pieces highly dense, pressure sintered |
LEARN WHAT MATERION CAN OFFER
View more about Materion fluorides. Vi tilbyr flere partikkelstørrelser for fordampning samt sputtering mål. For å se denne artikkelen, vennligst besøk Materion online catalog. Hvis du trenger en tilpasset produsert vare, vennligst kontakt oss.
Telefon: 414-289-9800 / FAKS: 414-289-9805/ [email protected]
——————————————————————————————————————————————————————————————————–
REFERANSE Til Aluminiumfluorid For Optisk Belegg, Fra Vakuum Fordampet Filmer Av Aluminiumfluorid, W. Heitmann, Tynne Solide Filmer, 5 (1970) 61-67. Alt trykt, grafisk og billedlig materiale gjort tilgjengelig på dette nettstedet er eid Av Materion og beskyttet Av Føderale Lover Om Opphavsrett. Ingen av materialene, helt eller delvis, kan skrives ut og distribueres eller på annen måte gjøres tilgjengelig for andre til noe formål uten Materions skriftlige samtykke.